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晶圆裂片机



设备特点:

  • PLC控制操作简单,单按钮控制

  • 带红光指示功能

  • 压力大小可调

  • 手动放片、取片

  • 专用裂片橡胶垫

  • 机器取代人工使用滚轮裂片动作

  • 设置有红光指示硅片沟槽放置方向

  • 下压距离控制,并有弹簧传导


技术参数:

  • 裂片机控制:采用PLC控制

  • 传动方式:采用步进电机

  • y方向运动:由导轨定位、同步带传动

  • z方向运动:高度定位由丝杆模组传动,下压力由z向

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